Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие для вузов
Заказ:
ISBN:
978-5-9963-0181-2
Год издания:
2017
Издательство:
Бином.Лаборатория знаний
Переплёт:
обл
Страниц:
240
Формат:
60X90/16
372, 00 руб.
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур".
Поделиться ссылкой