Заказ успешно обновлен!
Библиотечный коллектор

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы


Заказ:
Автор: Киреев В.Ю
ISBN: 5-94836-039-3
Год издания: 2006
Издательство: Техносфера
Переплёт: 7бц
Страниц: 192
Формат: 60X90/16

112, 50 руб.
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
 
Поделиться ссылкой

Мы в социальных сетях

ОдноклассникиFacebookВКонтакте

Новые поступления

Брайт Р.
2020
Поляндрия-Принт
1215.00 руб.
Кубедду К.,Таддиа Ф.
2020
Пешком в историю
552.00 руб.
Иванова Ю.
2020
Абрикобукс
975.00 руб.
Хината Р.
2020
Поляндрия-Принт
1053.00 руб.
Середа Е.
2020
Настя и Никита
202.50 руб.
Визель М.
2020
Бослен
709.50 руб.
Нелихов А.
2020
Пешком в историю
744.00 руб.
Жданова М.В.
2020
Белый город
1159.50 руб.
Войцеховский Б.
2020
Клевер-Медиа-Групп
567.00 руб.