Заказ успешно обновлен!
Библиотечный коллектор

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы


Заказ:
Автор: Киреев В.Ю
ISBN: 5-94836-039-3
Год издания: 2006
Издательство: Техносфера
Переплёт: 7бц
Страниц: 192
Формат: 60X90/16

112, 50 руб.
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
 
Поделиться ссылкой

Мы в социальных сетях

ОдноклассникиFacebookВКонтакте

Новые поступления

Лекманов О.
2024
Розовый жираф
1890.00 руб.
Киселёв А.
2024
Абрикобукс
1050.00 руб.
Аксенова Е.Ю.
2024
Абрикобукс
1230.00 руб.
Эрвас Фульвио
2024
Лайвбук
858.00 руб.
Петров В.
2023
Ад Маргинем Пресс
1620.00 руб.
Покладок П.
2023
Ад Маргинем Пресс
1620.00 руб.
Алексеева В.И.
2023
Арт-Волхонка
1863.00 руб.
Евстратова М.В.,Колузаков С.В.
2023
Арт-Волхонка
1863.00 руб.
Силаева О.П.
2023
Абрикобукс
1200.00 руб.